Schaeffler Polska Sp. z.o.o.
POZOSTAŁE INFORMACJE
KONTAKT
Litografia
Wysokoprecyzyjne prowadnice liniowe do stołów współrzędnościowych
Aby umożliwić nanoszenie struktur na mikroprocesory, pokrywa się je bardzo czułym na działanie światła fotolakierem. Fotolakier jest naświetlany przez maskę i rozkładany w miejscach, gdzie pada światło.
W produkcji półprzewodników nowej generacji dąży się do osiągnięcia wielkości poniżej 60 nm, pozwalającej na osiągnięcie większych gęstości zapisu i krótszych przerwań.
Napędzane silnikami liniowymi stoły współrzędnościowe dbają o ruch substratów i masek projekcyjnych. Bazę maszyny stanowi stabilna, chroniona przed działaniem drgań podstawa granitowa i wysokoprecyzyjne prowadzenie, np. prowadnice wałeczkowe INA typu RUE. To bardzo ciche prowadzenie odznacza się równomiernym oporem w zakresie ruchu i przesunięć, co umożliwia wysoką powtarzalność i dokładność pozycjonowania.
